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分子泵的維修流程大致分為：再現(xiàn)性確認→電氣特性檢測→分解→打包→清洗→更換備件包→轉子動平衡調(diào)整→重新裝配→調(diào)整各個機械參數(shù)及傳感器校正→泵體檢漏→運轉測試（包括直立運轉與水平運轉兩種極端狀態(tài)，同時用頻譜分析儀監(jiān)測其動態(tài)參數(shù)）→包裝。詳細如下：
島津（SHIMADZU）TMP 系列分子泵維修驗收標準 型號：TMP-203、303、403、803、1003、1303、1503及2804、3304、3804、4304
愛發(fā)科（ULVAC）UTM系列分子泵維修驗收標準 型號：UTM-350、480、800、1400、2300、2301、3301、3302、3303、3500、6300
愛德華 STP 系列分子泵運轉測試驗收標準 STP-3306、4503、4506系列
島津－三菱 FT 系列分子泵維修驗收標準 型號：FT-350、480、800、1400、2300、2301、3301、3302、3303、3500、6300
TMP-2804、3304、3804、4304系列分子泵的設計缺陷與免責項目 由于以下問題屬于設計缺陷，對于第三方維修商而言，應予以免責。
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